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The new Heavy Ion ERDA set up at iThemba LABS Gauteng : multilayer thin film depth profiling using direct calculation and Monte Carlo simulation codes

机译:在iThemba LaBs Gauteng设置的新型重离子ERDa:使用直接计算和蒙特卡罗模拟代码的多层薄膜深度剖析

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摘要

We report here on the recently built Heavy Ion ERDA set up at iThemba LABS Gauteng; describing a typicalapplication in the study of interfacial reactions in an Al2O3–Ti ceramic–metal multilayer structureannealed in vacuum at 800 C for 2 h. Depth profile extraction was found to be best obtained throughcombined use of direct calculation and Monte Carlo simulation codes as opposed to using just eitherof the methods. The obtained profile suggests a case of the Kirkendall effect, whereupon the inter-diffusionbetween the metal and the ceramic was largely due to the faster diffusion of the metal into the amorphousceramic than diffusion of the ceramic elements into the metallic layer.
机译:我们在此报告在iThemba LABS Gauteng上建立的最近建造的重离子ERDA;描述了在Al2O3-Ti陶瓷-金属多层结构在800摄氏度的真空中退火2小时的界面反应研究中的典型应用。发现深度剖面提取最好通过直接使用计算和蒙特卡洛模拟代码的组合来获得,而不是仅使用这两种方法。所获得的轮廓表明存在柯肯达尔效应的情况,因此,金属与陶瓷之间的相互扩散主要是由于金属向非晶态陶瓷中的扩散比陶瓷元素向金属层中的扩散更快。

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